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高純氣體管道系統(tǒng)

2019-12-05 15:34:06 0

高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分,是將符合要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵 ,包括系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。近年來(lái)以大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求,使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重視。


高純氣體管道輸送管道,要根據(jù)工藝過(guò)程對(duì)氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同,采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì),它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境,而且對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求,從微米技術(shù)進(jìn)入亞微米、深亞微米(小于0.35g.m)技術(shù),對(duì)氣體中的雜質(zhì)含量、水含量要求極為嚴(yán)格,10 -6(ppm級(jí))已經(jīng)不能達(dá)到要求,需要達(dá)到10-9(ppb級(jí)),甚至10-12(ppt級(jí))。因此輸送管道本身的管道材料特性適應(yīng)高純、超高純氣體的要求成為必須。


對(duì)輸送高純氣體管道而言,其影響氣體質(zhì)量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。


高純氣體的配管及材質(zhì)

高純氣體管道的設(shè)計(jì)要點(diǎn):

1.對(duì)于不同特性的氣體,要規(guī)劃獨(dú)立的供應(yīng)區(qū)域,一般分為三個(gè)區(qū):腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū),將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理,可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口,若空間不足,可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。
2.管道設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離,距離越長(zhǎng),成本越高,風(fēng)險(xiǎn)也越高,通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S,在用量設(shè)計(jì)方面,則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關(guān),后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”~3/8”。
3.根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況,高純氣體的管網(wǎng)不宜過(guò)大或者過(guò)長(zhǎng);宜采用不封閉的環(huán)形管路,在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體,以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通,不會(huì)發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。
4.管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”,不應(yīng)設(shè)有盲管,在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個(gè)閥門的開(kāi)關(guān)順序、系統(tǒng)吹除,以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物,降低氣體純度。
5.對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備,宜采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng);也可采用同等級(jí)輸送系統(tǒng),但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。
6.為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量,輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測(cè)儀器,如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外,還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測(cè)采樣口,以便按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行采樣,分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。
7.在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中,要求供應(yīng)10-9級(jí)的高純氣體,為了確保末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度,使氣體中的雜質(zhì)含量(包括塵粒)控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi),一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置,或末端高精度氣體過(guò)濾器

高純氣體配管及附件材質(zhì)的選擇

選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。目前超大規(guī)模集成電路前工序高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料采用不銹鋼光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不銹鋼電拋光管(SS316L-EP)等,但是對(duì)要求控制高純氣體中總雜質(zhì)含量≤1.01.0×10-6及以下的管材應(yīng)用SS316L-EP管。