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電子特氣供應系統如何設計與施工,沃飛科技為你解惑!

2022-12-10 17:44:40        0

  電子特種氣體是電子工業(yè)的“血液”,是半導體生產(chǎn)制造中不可或缺的關(guān)鍵性材料,同時(shí)也是集成電路制造中的第二大原材料,其占比僅次于硅片,占晶圓制造成本的13%。其在半導體產(chǎn)品制程工藝中廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等工藝,被稱(chēng)為集成電路、也將面板、LED及光伏等材料的“糧食“和”源”。

  長(cháng)期以來(lái),沃飛科技一直助力中國半導體行業(yè)的穩步發(fā)展,不僅提供先進(jìn)可靠的電子特氣創(chuàng )新產(chǎn)品,針對客戶(hù)流體系統中存在的棘手難題,提供全面的解決方案。沃飛科技現場(chǎng)工程服務(wù)團隊多次在國內電子特氣生產(chǎn)企業(yè)中開(kāi)展過(guò)實(shí)地服務(wù),幫助他們規避了許多生產(chǎn)隱患,提高了生產(chǎn)穩定性、安全性。

  

 


  那么,沃飛科技如何推動(dòng)電子特氣系統的安裝與應用呢。通常而言,特氣輸送系統是將特種氣體從氣源端、根據工藝設備的工藝需求、通過(guò)對流量和壓力等參數的控制,通過(guò)管道、無(wú)二次污染、穩定的輸送到工藝設備的用氣點(diǎn),其基本流程是:氣源、控制柜、管道傳輸、VMB、用氣點(diǎn)。

  

 

  除了選擇合適的特氣系統之外,還需要打造一個(gè)良好的特氣輸送環(huán)境。特氣房一般都獨立于主場(chǎng)房而單獨建設,其規劃時(shí)需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物的總量控制等,而且需要有良好的通風(fēng)條件??筛鶕怏w性質(zhì)宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間/腐蝕性氣體間、惰性氣體間等。其中,低蒸汽壓力特種氣體供應設施應盡可能靠近工藝設備。



  選擇好特氣房,便是管道系統的設計。在設計之前,首先要選好材料,特氣管路系統普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道,閥門(mén)一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過(guò)濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。此次是主管路系統,在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后,主管路系統一般遵循管道線(xiàn)路最短,拐彎最少的原則,布置緊湊合理,給人簡(jiǎn)單美觀(guān)的感覺(jué)。輸送系統的數量和管徑的大小一般根據機臺用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定。同時(shí)管道的設計要采用零死區設計,即整個(gè)管道系統從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn),要點(diǎn)對點(diǎn),中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此,整個(gè)管路系統中由VMB完成氣體的分配,中間沒(méi)有三通。最后,管道還要有良好的接地??傮w而言,管道系統的設計需充分了解氣體特性、從而合理配置系統,合理選擇管徑和材料,是我們設計的重點(diǎn),這樣可顯著(zhù)降低整個(gè)系統的成本。


  特種氣體管道的施工采用全自動(dòng)軌道焊接,同時(shí)制定和實(shí)施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序,對施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴格的監控和管理。最后整個(gè)系統還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。其現場(chǎng)基本的施工程序為:施工圖紙會(huì )審、施工組織編寫(xiě)、預制間的搭設、施工機具的準備、施工人員的培訓、預制圖紙的編寫(xiě)、管道的預制、管道的現場(chǎng)安裝、系統檢測和系統驗收等環(huán)節。


  作為專(zhuān)業(yè)從事氣體應用系統工程的高新技術(shù)企業(yè),沃飛科技目前已掌握自主研發(fā)的特種氣體生產(chǎn)關(guān)鍵環(huán)節核心技術(shù),在氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、管道工程等特種氣體生產(chǎn)關(guān)鍵環(huán)節形成了自主研發(fā)的核心技術(shù),致力于為先進(jìn)制造企業(yè)及研發(fā)機構提供高純工藝系統解決方案,業(yè)務(wù)涵蓋了整個(gè)系統方案設計、材料和設備供應、安裝、測試、調試和系統托管服務(wù),全力賦能電子特氣行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。