深圳沃飛科技有限公司專(zhuān)業(yè)研發(fā)設(shè)計(jì)制造高純工藝氣體系統(tǒng)電子特氣工藝尾氣處理設(shè)備local scrubber

WFS-100F吸附式local scrubber 尾氣處理設(shè)備可處理氣體種類(lèi)包括半導(dǎo)體、液晶以及太陽(yáng)能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。